Дослідження впливу режимів електронно-променевої безтигельної зонної плавки металургійного кремнію на рафінування та структуроутворення зливків

O. R. Gokhman, Yu. A. Asnis, N. V. Piskun, O. A. Velykoivanenko, G. F. Rozynka, A. S. Milenin, V. M. Babych

Анотація


У роботі представлені результати досліджень, які отримані при розробці технології електронно-променевої безтигельної зонної плавки металургійного кремнію. Показано, що рафінування кремнію від фонових і легуючих домішок при електронно-променевій безтигельній зонній плавці відбувається шляхом зонного очищення при плавці і в результаті випаровування домішок з поверхні зразка. Створено математичну модель і проведено обчислювальний експеримент, за допомогою якого визначено температурний градієнт при різних швидкостях зонного плавлення. Встановлено межі температурних градієнтів, при яких в процесі плавки формується стовпчаста структура кристалітів, що забезпечує разом з очищенням зразків в результаті зонної перекристалізації підвищення рівня питомого електроопору зливків.
Ключові слова:
полікристалічний кремній, фотоелектричні перетворювачі, електронно-променева безтигельна зонна плавка, рафінування, спрямована кристалізація, стовбчата структура, питомий електроопір.

Посилання


A. I. Nepomnyaschih, V. P. Eremin, B. A. Krasin et al., Materialyi elektronnoy tehniki (4), 16, (2002).

A. I. Nepomnyaschih, B. A. Krasin, V. S. Romanov et al. Pat. RF № 2131843 Byul. M17 ot 20.06.99.

S. A. Garyainov, Yu. S. Tihodeev, Fizicheskie modeli poluprovodnikovyih priborov s otritsatelnyim soprotivleniem (Radio i svyaz, Moskva, 1997).

E. A. Asnis, A. B. Lesnoy, N. V. Piskun, Sovremennaya elektrometallurgiya (3), 11 (2011).

N. I. Kazakova, N. V. Nemchinova, B. A. Krasin, Sovremennyie problemyi nauki i obrazovaniya, 6(3), 158, (2007).

B. A. Krasin, A. I. Nepomnyaschih, A. S. Tokarev i dr., Materialyi elektronnoy tehniki (1), 28, (2005).

V. P. Ginkin, S. M. Ganina K. P. Chernov, Matematicheskoe modelirovanie fizicheskih protsessov (4), 58 (2013).

S. S. Belskiy, N. V. Nemchinova, B. A. Krasin, Sovremennyie naukoemkie tehnologii (4), 26, (2006).


Повний текст: PDF (English)
7 :: 18

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.